
芯片生產(chǎn)線廢水處理方法
文章出處:污水處理知識 責(zé)任編輯:漓源環(huán)保 閱讀量:- 發(fā)表時間:2021-11-28
標(biāo)簽:芯片生產(chǎn)線廢水處理方法
今天漓源環(huán)保給大家講解芯片生產(chǎn)線廢水處理方法,在半導(dǎo)體制造技術(shù)中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導(dǎo)體芯片,然后將所述半導(dǎo)體芯片進(jìn)行封裝和電性測試,并終形成終端產(chǎn)品。目前,在半導(dǎo)體芯片的制造過程中,會產(chǎn)生大量的工業(yè)廢水。
在現(xiàn)有的解芯片生產(chǎn)線廢水處理過程中,通常單獨(dú)使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF),均只能對廢水進(jìn)行單一的處理,例如為過濾或微生物反應(yīng)或去除毒性等,由于處理方式過于單一,這常常導(dǎo)致過濾物質(zhì)很快堵塞的問題。因此,廢水處理仍有改善的空間。
主要目的在于提供一種芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法,以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的處理方式過于單一,這常常導(dǎo)致過濾物質(zhì)很快堵塞的問題。
半導(dǎo)體芯片行業(yè)將生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)分為:含氨廢水處理系統(tǒng)、含氟廢水處理系統(tǒng)、CMP研磨廢水處理系統(tǒng)及酸堿廢水處理系統(tǒng)。
含氨廢水有兩部分,一部分是濃氨氮廢水,主要含氨氮和雙氧水,氨氮濃度達(dá)400~1200mg/L;另一部分是稀氨廢水,主要含氟化氨,氨氮濃度低于100mg/L。
含氟廢水處理系統(tǒng)
工藝中采用CaCl溶液代替?zhèn)鹘y(tǒng)去氟采用的消石灰,可減少氟化鈣污泥量、原料用量和堿液,同時,可避免粉態(tài)消石灰的逸散,防止管道堵塞,易于控制投加量,確保系統(tǒng)的穩(wěn)定高效運(yùn)行。
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