
今天漓源環(huán)保給大家介紹一下晶圓切割廢水處理,晶圓指制造半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底(也叫基片),由于是晶體材料,其形狀為圓形,所以稱為晶圓,襯底材料有硅等。
由于硅為常用,如果沒有特別指明晶體材料,通常指硅晶圓,在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.999999999%。
在晶圓切割廢水處理工程中晶圓在研磨生產(chǎn)過后,需要使用大量的水對(duì)晶圓表面殘留的懸浮顆粒物進(jìn)行沖洗,而沖洗后產(chǎn)生的廢水就被直接排放出去了,廢水含有的較多雜質(zhì)未能及時(shí)進(jìn)行過濾處理,統(tǒng)一排放對(duì)環(huán)境造成了污染,同時(shí)沖洗水的大量使用也造成了水資源的浪費(fèi),因此針對(duì)以上問題,需要可靠的晶圓切割廢水處理工藝。
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